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测量薄膜片材厚度选择接触式的还是非接触式的测厚仪?区别在哪?

wang64916612 2018-02-07
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vitagyf
接触式具有破坏性 非接触性反之
建议选择非接触性的如椭偏仪,接触性的就是台阶仪,SEM
6 0 2018-02-08 0条评论 回复
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