等离子体发射光谱ICP-OES与等离子体质谱ICP-MS是两种不同的仪器。没有OES-MS联用仪。
ICP-OES灵敏度高低检测限,较宽的动态线性范围和多元素同时分析,用于痕量及部分常量元素定性定量分析,应用的行业范围也较广。
ICP-OES大部份元素的检出限为1—10ppb,一些元素在洁净的试样中也可得到令人注目的亚ppb级的检出限。由于其可以覆盖PPB级至百分含量范围,在一般的实验中运用较多。比如金属材料(不含超纯)、化工等各种行业。
ICP-MS具有元素、同位素、形态分析等定性定量分析能力,检测下限水平优于ICP-OES。
ICP-MS其检出限非常低,溶液的检出限大部份为ppt级,但是对于总的离子量有限制,因此分析基体复杂体系的方法检测限不一定比ICP-OES低。主要在环保/水质/电子材料(尤其是半导体行业)等方面运用较多。
ICP-MS的耐盐量较差,若涉及固体中浓度的检出限,ICP-MS检出限的优点会变差多达50倍,一些普通的轻元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICP-MS中有严重的干扰,也将恶化其检出限。
ICP-MS对于所使用的试剂的纯度、分析用水、实验环境等要求均较高,而且仪器使用也较ICP-OES复杂。
ICP-MS 测量的是离子质谱,提供在3-250amu范围内每一个原子质量单位(amu)的信息,因此,ICP-MS除了元素含量测定外,还可测量同位素。