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石英震荡片侧膜厚原理哪位高人能解释一下呢?

呆萌丶小可爱2 2012-07-01
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wangshumeinvxi
镀膜时,石英晶片是作为一个Sensor使用的。

向石英晶片的电极上蒸镀其他物质时,石英晶片由于加大质量负载而频率降低。石英晶片的频率是可以很精确的测量到的。
这里用石英晶片的频率的变化来反映镀膜的厚度。
10 0 2012-07-02 0条评论 回复
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