半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体中，石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下：
1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤，不能有金属离子污染。
2、高温环境可达1000多摄氏度，铝容易硅化，会造成器件结区损伤，容易漏电。