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碳碳坩埚使用中出现裂纹是怎么回事

荨枼 2015-06-29
diyi次拉单晶硅棒,在使用时R角处出现了裂纹... diyi次拉单晶硅棒,在使用时R角处出现了裂纹
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diyi、R角处属于重力及膨胀力集中的地方;
第二、经过长时间使用之后,其硅蒸气腐蚀掉了碳碳部件的边缘;
第三、如果使用的是整体直筒坩埚,那么在取石英坩埚的时候外力敲击引起碳碳坩埚的纤维损坏。
另外、碳碳坩埚在制作预制体过程中,其编制顺序及工艺也有可能会引起裂纹。
15 0 2015-06-30 0条评论 回复
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