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在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚

luywm42062 2017-09-27
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8D似犬
只是会增加热阻,你放东西进去加热效果会变得很差。当然如果你套得非常非常紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发生燃烧,石英坩埚因受热不均可能会导致出现裂缝 。

石英坩埚可在1650度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单 石英坩埚晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。
3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。
4.石英质脆,易破,使用时要注意。
5.除Hf外,普通稀无机酸可用作清洗液。

石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。
石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。
石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。
20 0 2017-09-28 0条评论 回复
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