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ZG在直拉单晶硅方面为什么一上来就直接选用石英坩埚

承┾諾 2013-07-19
大约60年代开始,国产拉晶工艺才开始有所报道,而在选材发面根本找不到文献。我怀疑是不是直接拿国外工艺做的成品。就拿坩埚来说,为什么从diyi篇文献开始就直接选用了石英坩埚。有没... 大约60年代开始,国产拉晶工艺才开始有所报道,而在选材发面根本找不到文献。我怀疑是不是直接拿国外工艺做的成品。就拿坩埚来说,为什么从diyi篇文献开始就直接选用了石英坩埚。有没有用别的坩埚什么的都没提说。有没有业内人士给分析分析
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南望闲人y58
你好,石英坩埚是直拉单晶所必须的辅料,目前还没听说过能把石英坩埚代替的,你这个提法够新颖。
由于(1)硅的熔点在1450℃,所以硅液的容器必须熔点必须足够高。(2)直拉单晶硅是原子结构重新排列的过程,高纯卫生至关重要,溶不的一点杂质。石英坩埚的材质是sio2,耐高温、稳定,不会带来其他杂质。就是石英坩埚的o原子也对单晶硅的质量影响很大。(3)外国在搞这些科学研究的时候,ZG还在吾皇万岁呢,所以这些技术都是上世纪50年代引入ZG的,目前的发展来说和人家还有50年的差距!
2 0 2013-07-20 0条评论 回复
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