氮化炉用氨气质量流量计老坏怎么办啊，哪个厂家的质量和服务好

如果是burkert的，那基本上是这么个情况，国内只能代理，不能维修，你坏了就换一个，自然价格很高，由于MFCZ怕水，油这类东西，所以氨气必须要加干燥器，而且要做到非常严格的定期更换，否则基本上你这个情况很容易出现。还有一种经验之谈，就是先MFC控制，对于一些简单的工艺以及稳定的工艺，可以关闭MFC，开通旁路转子流量计进行开环控制，尽量减少MFC使用的频次。 目前还没有比较好的解决MFC问题的方式，除非你换成电子流量计，放弃MFC这种控制方式。

国产七星华创的比较便宜，维修也比较方便，但精度不是很高，和国外的比还是有差距的，但值得一试

我们也是这样的问题，维修的话要送德国，费用大，周期长，生产受限制，我们去年在这一块花费近16万。现在正在实施技术改造，我期待我们的技改。

你用的是什么厂家的质量流量计？ 不需要送回厂家维修，否则斩你没商量，国内有专门维修质量流量计的。 你用的氨气有没有经过干燥，过滤？