三坐标测量机21项误差补偿具体哪21项

通常将坐标测量机的几何参数误差按其在各运动自由度方向作用分类，分为3项位置度、6项直线度、9项角摆误差、以及3轴相互之间的3项垂直度，共21项参数误差。

21项误差是测量机的基本几何误差，为了保证测量机满足示值误差及探测误差的要求，生产厂家都要测量和控制这21项误差，必要时进行补偿。
21项误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，包括双频激光干涩仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪。但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果可能是几种参数误差的综合结果。这21项中有：
(1) X、Y、Z三个方向的位置度。
(2) 沿X、Y、Z三个方向运动时的6个直线(3 x 2)
(3) 沿X、Y、Z三方向运动时自转、俯仰、方向九个角摆。
(4) X、Y、Z各轴间3个垂直度。
对于平臂测量机则为24项误差，即加上水平臂伸出时的政策垂量误差。

三个轴向的位置度，三个轴向运动的直线度共计六个，三个轴向运动时自转、俯仰、偏摆共计九个角摆，三轴相互垂直度三个，以上共计二十一项。

21项几何误差分为四类，即位置误差、直线度误差、角运动误差和 垂直度误差，常见的测量方法是采用双频激光干涉仪、电子水平仪对测量机的各个单项误差逐一进行测量。这种方法精度很高，但测量时间较长，劳动强度大，对操 作者的技术要求较高，而且设备昂贵。
三坐标测量机由相互垂直的三个轴组成，各轴由滑块—导轨系统实现直线运动。滑块除轴向外的其余五个自由度被限制，但由于存在着制造误差，在这五个方向 上滑块仍然有微小位移(角位移和线位移)。同时沿轴向运动时还有定位误差。这样，坐标机的一根轴上有六项误差，加上由于装配等因素造成的三个轴之间的垂直 度误差，共有21项几何误差