高真空泵有哪些？低真空泵有哪些？为何高真空泵需串接前级泵？

目前常用的高真空泵有分子泵，冷泵，油扩散泵等;低真空泵旋片泵等;高真空泵由于结构的原因，不能在较差的真空状态下工作，需串接前级泵预抽真空.