三维光学轮廓仪的使用原理，有谁知道？

三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、YL工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。

z方向有个摄像头，工件通过摄像头在电脑显示器上成像，然后通过电脑中的软件对工件尺寸进行测量。测xy平面的比较好。