氦检机设备操作原理

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.
分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.

氦检设备的基本工作原理：
根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，通过氦检漏仪能高精度迅速准确的判断工件的泄漏情况。
基本功能：
操作者将工件放在真空箱内，将箱内夹具与工件接头密封夹紧，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成工件清扫，抽空，大漏检测，充氦，中漏及微露检测等程序，Z后通过氦气回收系统，将氦气回收到低压储存罐中，将氦气重复利用。 生产节拍快，检漏精度高，适应满足现代工业流水线