射频离子源不起辉怎么办

检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器是否工作？ 如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。
若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打开，再测。

检查问题看是否电源坏了