请问在镜面级石英表面镀金属铬，哪种镀膜工艺对石英表面的损伤Z小？

应该选择蒸发镀膜，根据镀膜原理：
蒸发镀膜：加热使膜材蒸发，吸附在基体表面成膜；
溅射镀膜：被加速的正电离子撞击靶材，将成膜原子轰击出来然后沉积在基体上；
离子镀：利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在被电离离子的轰击下，将成膜材料沉积在基片上的方法，溅射镀膜属于离子镀膜的一种。
综上，溅射镀膜及离子镀膜都是需要被加速的离子轰击靶材，将成膜物轰击出来后再“吸附”至基体上，被吸附的成膜粒子当然也是具备较大动量的，导致成膜初期有部分动量过大的粒子直接轰击进入基体内部，从而破坏石英表面；而蒸发度中，成膜粒子的动量就相对小得多，而不会对石英表面造成太大损伤和破坏。

PS：这种专业提问，楼主竟然不舍得给分。哈哈，人才啊！

没有评价标准，损伤和破坏指的是什么？

个人觉得蒸发在这三种镀膜方式中，蒸发镀能达到你说的要求。因为这种方式的成膜，区别于离子的轰击和磁控表面清洗所代来的基材破坏。所以我个人选择蒸发镀。