麻烦帮我看一下这里是镀膜损伤还是油污

1。检漏Z好，Z有效的方法当然是用氦质谱检漏仪，当如，如果没有检漏仪，你还可以用其他方法检漏。比如：用酒精或者丙酮往密封处喷洒，然后观察真空度的变化，如果立刻有很大的变化，说明此处或者此处附近有漏点。
2。还有一个方法可以判断真空系统是否漏气，就是抽极限真空和漏率测试。如果你的系统能抽到E-4Pa，可以判断系统没有大的漏点，然后通过漏率测试，如果漏率符合要求，要可以判定真空系统没有漏点，或者是漏点很小。当然漏率的标准需要你咨询你的设备供应商。
3。真空室内衬及工件杆的清洗标准，总的来说没有确切的标准，根据每个公司产品要求的不同，如果你做货，那么维护的频率就要高一些，你可以先制定一个标准，然后施行，然后去不断改进。Z终定下一个维护的周期标准，然后贯彻落实。
4。扩散泵的油什么时候更换，一般都是通过观察油的颜色或者检查是否抽气速率有明显的下降，更设备维护一样，不要等油完全失效了再更换，要制定标准，定期更换，当然标准是可以更改的，但是一旦制定，就要实施。具体时间可以咨询你的设备供应商。
5。产品的灰尘和油污肯定是要清洗的，除油、除蜡等，前处理是一个很系统的工程，无法一句两句就说清楚的。
6。下边两个问题，我无法回答你，因为我也不知道。

希望对你有帮助，有问题可以去咨询你的设备供应商，一个好的供应商是应该可以提供解决方案的，尽管不是Z好的，至少是能满足你要求的。

你好车主，这个是没擦干净的