影响油扩散泵性能的因素有哪些？

1、油扩散泵的返流。 2、气体分子的反扩散。 3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内（室温下0.00000001Pa左右），受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。 4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。希望能帮到你。