油扩散泵为什么要和机械泵连用

你好，我是物理系的学生 ，来试着帮你回答一下，希望对你有帮助。

首先，油扩散泵里的气体压强不能超过1帕，高于1帕会加速油的氧化，所以需要排气来满足油扩散泵的工作环境。
其次，有扩散泵不能自己独立将气体排出，所以需要与机械泵连用（相当于前级）， 借助机械泵把气体抽走。

机械泵的极限真空度约是 10^ -2 Pa
扩散泵的极限真空度约是 10^ -6 Pa 而排气压力在10-100 Pa
就是说不能直排大气，需要前级泵。
所以想达到高真空 需要两个泵串联使用