关于加速度传感器的推荐 清华大学 董老师这一本,非常好。
微惯性仪表——微机械加速度计
http://www.tup.tsinghua.edu.cn/book/SHOWBOOK.asp?cpbh=006296-01
作者:董景新
图书详细信息:
ISBN:9787302062967
定价:15元
印次:1-1
装帧:
印刷日期:2003-3-27
图书简介:
微机械加速度计是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制作的MEMS器件,在军民两用领域均有广泛的应用前景。本书以作者参加“九五”、“十五”ZD预研课题及清华大学“985”校级ZD项目工作为基础写成。全书共分9章,主要内容包括:微机械加速度计的类型、工作原理及数学模型,电容式微机械加速度计的结构和电路,微机械加速度计的集成、误差分析、主要性能指标及测试方法,微机械加速度计的应用及进一步研究动向等。
本书内容除对微机械加速度计的研究和应用有借鉴作用之外。对其他惯性仪表乃至其他MEMS器件的研究亦有参考价值,可供惯性技术领域、微机电系统领域以及各相关应用领域的科技工作者阅读。