傅里叶红外光谱仪能测硅基上的无机物半导体薄膜吗(硅不透光)

不透光的样品需要用到ATR附件，利用红外反射（而不是投射）来检测。
另外，对于无机物，一般不用常规的中红外光谱（波数范围 400 ～ 4000 cm^-1）检测，而是用远红外光谱（波数范围 < 400 cm^-1）