简述激光单路干涉测位移原理

　　激光干涉仪将光学精密测试原理 与电子技术相结合，可实现快速、高精度测量，广泛应运用于精密制造、测试计量领域。目前激光干涉仪普遍可以实现纳米精度，但由于干涉测量容易受到环境条件 干扰，且在纳米测量中需进一步提高信号质量与信号处理方法，故目前激光干涉仪结合电子技术不断提出新原理、新结构，力求干涉系统的可靠性与微型化，提高干 涉仪的实际应用性能。 论文在分析现有典型激光干涉仪原理的基础上，根据偏振光迈克尔逊干涉仪的基本结构，研究了基于相位调制的激光干涉测量方法，该方法通过单路调制干涉信号即 可实现高倍细分与辨向，从信号处理的角度在一定程度上减少了多路信号处理的部分误差，结构简单，可实现高精度测量。 论文分析了相位调制激光干涉位移测量系统的结构和组成部分，包括光路部分和信号处理部分。信号处理部分包括PZT驱动、光电信号转换和信号解调部分。光路 部分基于偏振光干涉测量系统，PZT对其中一路光束进行周期光程调制，获得相位周期调制信号，信号通过光电转换电路实现对光强信号的光电转换及放大处理。 然后将信号送入计算机，对得到的相位调制信号进行解调，用LabVIEW软件实现信号的位移测量。 Z后对本系统进行了搭建和调试，对系统的测量结果与Renishaw公司XL-80激光干涉仪作了对比，证明了系统的有效性。本设计提出的相位调制激光干 涉位移测量系统既保留了传统激光干涉仪的简便结构，还在很大程度上提高了系统测量灵敏度和测量精度。