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- LxH686156 2010-11-23 00:00:00
- 所有品牌的干涉仪都有这种现象。 应该是虚光斑,激光射到目标镜(棱镜或平面镜)时,入射角不可能完全垂直镜面,由于折射率原因会在棱镜内部形成多次反射,此时这些光束会射散出来形成虚光斑。 从检测严密性考虑,这种现象不影响测量精度; 如果光斑在测量时侧向移动较大,就存在一定的余弦误差(即检测光路与测量线之间存在COS角的余弦误差),如果仪器可以正常采集数据,检测精度应该符合仪器的标称精度; 如果光斑来回晃动,这说明固定目标镜的运动部件(或激光头运动)运动时存在角偏,可以用MCV-2002检测这个角偏量,进行机械调整。
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