斐索干涉仪原理

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  lagngalkgn 2005-12-13 00:00:00

  等厚干涉。 http://www.baicle.com:8080/cp/resource/articles/018/%E6%B3%A2%E9%9D%A2%E5%B9%B2%E6%B6%89%E4%BB%AA91114.html 波面干涉仪 wave surface interferometer 用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为/10～/100， 为检测用光源的平均波长。常用的波面干涉仪为泰曼干涉仪和斐索干涉仪。 斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约1微米；也可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。

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