激光干涉仪能检测到的机床定位精度Z高能达到多少？

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  kelislove瓜瓜 2012-04-10 00:00:00

  就是有很高的呀

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  疯狂麦克斯7 2012-04-10 00:00:00

  激光干涉仪一般在0.5~0.7ppm（ppm是一摄氏度变化引起的误差在0.5~0.7μ）

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  何喜艾 2012-04-10 00:00:00

  首先明确，等到激光稳定后检测的结果都能满足机床要求。 其次，PPM，是个相对概念，简单理解就是百万分之一，举例，若测量出的1米长度，仪器精度是1PPM，则误差为上下1um（1um＝1/1000*1/1000，就是一米的百万分之一)。但是这只是理论精度，实际Z大的误差来自环境的变化（温度，湿度，压力等）以及余玄误差（激光的光路没有找正，和机床运动轴有夹角）。

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  白狼945 2012-04-10 00:00:00

  安捷伦就是之前的惠普的现在能达到0.4ppm（每米的误差在0.4微米） 雷尼绍的能达到0.5ppm即每米的误差在0.5微米。 如果你的机床要测2米，用安捷伦的总误差在0.8微米，雷尼绍的在1微米。你测的越长累计误差越大。 当然这些都是理论实验室技术参数，一般在高级实验室才能实现。 如果在机床现场使用这个精度基本上很难保障，主要看干涉仪的抗干扰性了。安捷伦的是双频外差干涉相对要好一些，当然单频的雷尼绍也是能用的。在不追求非常高精度和高稳定性时，二者差距不大。

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