三坐标测量仪和激光干涉仪哪个精度高

不具有可比性，因为：
三坐标测量仪是用来测量工件物体的尺寸包括尺寸之间的关系的，如长度，对称度，直径，圆柱度等尺寸和形位公差。
激光干涉仪是用来测量仪器的，如长度，垂直度等，但是仪器必须有移动轴或者外部有移动轴，若用干涉仪测量工件的长度，对不起了，测不了。哪个有好方法？
但是，估计楼主说的是激光跟踪仪吧？这种仪器是基于球坐标系的，依靠2个互相垂直的圆坐标，定位空间的任意一点的位置，例如瑞士莱卡LEICA的 AT401等，这种仪器的测量范围可达到直径几百米，适合测量大型工件。其实激光跟踪仪也可以称作特殊的三坐标的。缺点是精度稍差，不能和常规的三坐标测量机想比。