性能指标
干涉仪
数字化连续动态调整( d.s.p ),速度达每秒 130,000 次 , 保证瞬时与长时间检测的超高稳定性,更好的光谱峰形。
光谱范围
27,000 -1 ~15cm -1 ( 选择不同的光源、分束器、检测器组合 )
分辨率
标准 0.4cm -1 ,可升级至 0.09cm -1 ;
峰 - 峰噪声值
小于 8.68 × 10 -6 au ( 1 分钟扫描, 4cm -1 分辨率)( au:absorbance units )
s/n 比 50,000:1 ( 1 分钟扫描, 4cm -1 分辨率)
线性度
线性度:对 0.0 % t 的偏离小于 0.07 % t ( astm1421 方法)
波数精度
0.01cm -1
快速扫描
65,95 张光谱 / 秒,可升级至 77,105 张光谱 / 秒( 16cm -1 分辨率)
联机功能
具有五个标准的外接光路输出口,可以联机 ft-raman 、 gc-ir 、 tga-ir , lc-ir 、红外显微镜,另外还可连接标准辅助光学台,用于完成更多的联机实验
保质期
主机保修一年,中 / 远红外光源及干涉仪保修五年
计算机操作系统
win xp pro,win2000
主机尺寸
69.2cm (w) × 65.5cm (d) × 25.4cm (h)
样品仓尺寸
21cm (w) × 26cm (d) × 20cm
主机质量
69kg
众所周知,傅立叶变换红外光谱技术对于半导体加工而言,是一种理想的检测手段。而半导体及光伏加工无论是对于原材料还是工艺过程都有着严格的控制要求,需要能够对于纯度超过99.999%的材料进行检测,并且检测尺度主要是在纳米级。而作为一种快速、无损的检测技术,necoltet6700既可用于相关企业的质检实验室,也可用于现场以监控生产过程中搀杂剂在硅片中的均一性。由于硅有非常好的红外透过性,因此傅立叶变换红外技术在此方面的应用包括:针对外延生长的晶体薄膜、微机电系统(mems)设备和绝缘硅(soi)材料的厚度测量,硅晶体中间隙氧和取代碳含量的测定以及介电薄膜表征等。 此外,该型产品采用了新一代 etc everglo 红外源,在提供稳定信号的同时,极大延长了红外源的使用寿命。为了应付以前难以处理的红外样品,还新增加了一个 turbo mode 功能。敷金的光学器件和全新设计的光路系统则极大增强了光信号通量。具体优势表现如下:
Z新etc everglotm光源:ever-glotm(us patent #us5291022)长寿命空冷红外光源。Z高能量分布在1,600cm-1附近,是化合物出峰Z多的区域。Z新的etc(electronically temperature controlled)设计提供了三种工作状态:rest mode(900℃)、stabilized mode(1140℃)、turbo mode (1250℃);通过etc监控,使红外光源能量稳定输出,确保光源整个寿命中均可保证性能一致,从而得到稳定的高质量红外图谱;更可通过“turbo”模式获得超出常规能量25%高能量输出,用以满足特殊测试要求。
ZL干涉仪:vectratm干涉仪采用电磁悬浮驱动,其性能特点类似传统的气浮式空气轴承干涉仪,但屏弃了空气轴承干涉仪外部气体供给的缺点。成为Z新一代高级研究应用所青睐的干涉仪,分辨率Z高可达0.09cm-1。
数字化连续动态调整(d.s.p),速度达每秒130,000次, 保证瞬时与长时间检测的超高稳定性,更好的光谱峰形。一个全新概念的动态调整系统,无需任何调节螺丝,完全抛弃了陈旧复杂的光学补偿系统,不存在立体角镜等光学补偿型干涉仪光学补偿无法避免的“光谱失真”现象。是唯yi能够主动补偿所有已知的干涉仪失调的方式,可同时对振动与温度作出补偿及调整。
多种检测器:品种齐全的各类检测器,适用于紫外至远红外的任何光谱范围或实验配置要求,并具有Z佳的性能。所有的检测器均“即插即用” (plug and play),易于更换与使用。另有ZL的无缝不锈钢设计的液氮冷却检测器,液氮保持时间长达18小时,堪称业内diyi。
独有的e.s.p. (enhanced synchronization protocol) 技术,充分体现出easy(简洁)、smart(智能)、precise(精确)的设计理念,即将人工智能和高度集成的概念渗入到光谱设计、制造的每个部件。
智能光学台:光学台的所有元件均采用智能化预准直对针定位,“即插即用”设计,分束器、检测器及智能附件一旦插入系统,智能系统立刻自动识别,自动更新参数,自动优化无需调整。完全抛弃了老式螺钉螺母,出厂前激光定位的方法,克服了由螺丝弹簧控制镜面角度的不稳定性。
光学台采用整体铸模形式,加上高精度的“对针定位”固定光学元件,达到了超高精度的重复性,大大增加了仪器的稳定性。彻底解决了传统光学结构不易维护的问题,未入门用户即可自行安装、更换光学元件。
智能附件:光学台配有标准大样品仓,完全兼容所有商业附件。但使用智能应用附件,更能体现“智能系统”的强大优势。自动识别、自动性能测试、自动参数设定、精确定位校准等特色提高了应用实验的重复性,完全消除人为误差。
智能湿度探测及吹扫控制:在样品仓盖开启时,独特的智能吹扫系统将自动进行检测,增加光学台中吹扫气体的流量,在连续测样的过程中以Z短的吹扫时间恢复到开仓前的状态,以确保尽可能迅速而GX地收集数据。
光学台采用美国宇航ZL密封胶条的整体密封干燥设计,减少了光路中的密封窗片,提高了光的传输效率,且防潮效果。智能湿度探测减轻了操作人员对仪器维护的工作量,将自动提醒更换干燥剂,解决红外使用过程中Z大的隐患。
在线智能诊断:连续检测每一个光学元件和电子元件的参数,随时可以检测并预知光谱仪的故障,并提出解决方案,增强用户的自我维护能力。
zhuo越的光学系统:精密铸造的光学台底座配以Z少数量的反射镜以及Z短光程的设计,使得nicolet 系列ft-ir的光能量损失减少到Z小。金刚石加工切削整体合金反射镜,光路传输效率更高于一般金属镀层技术的反射镜,保证Z大光学效能输出。热稳定性极高的整体块状反射镜消除了传统单片反射镜螺丝固定带来的镜片容易变形、螺丝容易松动、需要人工调整光路的弊端,具有极高的重复性,甚至是仪器间的一致性。精密的机械加工确保每次扫描的高度再现,彻底消除仪器给实验结果带来偏差。
高性能电子系统:Z新的24位a/d转换器,500khz的a/d转换速度,真正做到实时采集光谱数据,保证数据的真实性与可靠性。配合与现代Z新的计算机技术同步的Z新的usb 2.0 通讯接口,提高了数据传输速率。