日本新柯隆SHINCRON真空镀膜机RAS，镀膜完成（没有取出来）之后又继续排气抽真空，然后想把它不镀膜从仓室2转到仓室1取出来，又因为操作不挡，导致仓室2的drum(大概是这么发音的)没有升起的情况下，道轨就进去了，然后报警显示DRUM搬送异常，这种情况应该怎么办... 日本新柯隆SHINCRON真空镀膜机RAS，镀膜完成（没有取出来）之后又继续排气抽真空，然后想把它不镀膜从仓室2转到仓室1取出来，又因为操作不挡，导致仓室2的drum(大概是这么发音的)没有升起的情况下，道轨就进去了，然后报警显示DRUM搬送异常，这种情况应该怎么办？
还是熟悉的RAS。
这个你要分辨一下，是搬送动力故障还是信号互锁。
如果是搬送到一半的位置，你得先想个办法把轨道回到一头，要么进去要么出来。
然后再打开interlock界面看到底哪个地方没有亮起来，然后再操作。
如果没办法回到一头，你只能先破真空，检查搬送系统状态，看看电机是不是转的，轴承有没有故障，定位的感应器有没有故障。
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