化学试剂中的电子级什么意思

电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级.
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺，金属杂质含量小于1ppb，经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子，在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺，金属杂质含量小于10ppb，经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子，在100级净化环境中灌装，达到SEMI C7标准
EL级:金属杂质含量小于100ppb，控制1微米粒径粒子，达到SEMI C1 C2标准，适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。