在过去相当的一段时期,精密加工、超精密加工的应用范围很狭窄。近十几年来,随着科学技术和人们生活水平的提高,精密和超精密加工不仅进入了国民经济和人民生活的各个领域,而且从单件小批生产方式走向大批量的产品生产. 在机械制造行业,已经改变了过去那种将精密机床放在后方车间,仅用于加工工具,卡具,量具的陈规。现在,工业发达国家已经将精密机床搬到前方车间,直接用于产品零件的加工。 精密和超精密加工目前包含三个领域: 1)超精密切削,如超精密金刚石刀具切削,可加工各种镜面、它成功地解决了高精度陀螺仪,激光反射镜和某些大型反射镜的加工。 2)精密和超精密磨削研磨,例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等的加工。 3)精密特种加工,如电子束,离子束加工,美国超大规模集成电路线宽达到0.1μm。