（无油旋叶式）真空泵运转时会卡死

我司一台转塔式贴片机要用到真空吸取电子元器件，在真空吸嘴开口从小切换到大时（也就是相当于真空泵吸气端开口变大的时候），真空泵会卡住不转。当泵卡住后，不管用多大的力都转不动。这两天检查了一下，发现泵体内部有一处有磨损的痕迹（离转子Z近的那个地... 我司一台转塔式贴片机要用到真空吸取电子元器件，在真空吸嘴开口从小切换到大时（也就是相当于真空泵吸气端开口变大的时候），真空泵会卡住不转。当泵卡住后，不管用多大的力都转不动。这两天检查了一下，发现泵体内部有一处有磨损的痕迹（离转子Z近的那个地方），更换了一对轴承重新调整可以运行，但一切换吸嘴就卡，还是没解决。这台机用了5年左右，泵是Orion的，型号：KHA400-302-G1。 请教一下大家，有没有什么线索？ 先谢谢了！