薄膜电容器的容量大小取决于薄膜金属层面积的大小,所以容量的下降主要就是金属镀层受外界因素影响,面积减少而产生的。
在电容器制作过程中,膜层之间存在微量的空气,且较难完全消除。电容器工作时,空气在电场作用下,有可能被电离。空气电离后产生臭氧,臭氧是一种不稳定的气体,常温下自行分解为氧,是一种强氧化剂,低浓度下可瞬间完成氧化作用。金属化薄膜的金属镀层(成份为Zn/Al)遇到臭氧分解的氧后立即氧化,生成透明不导电的金属氧化物ZnO和Al2O3,实际表现为极板面积减小,电容器容量下降。因此消除或减少膜层间的空气,可以减缓电容量衰减。
当膜层间的空气被外界水份侵入时,空气的击穿电位会降低,加快空气电离,产生大量的臭氧,氧化金属化薄膜的金属镀层,电容器的容量会迅速下降。