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请问SEM能透过1um透明膜看到膜层下面另外一层薄膜的表面细节吗？

a_贝 2012-06-12

我们SEM的型号是蔡司的SIGMA，我们的样品基体为钠钙硅玻璃，玻璃上镀有一层ITO膜，ITO上镀有1um左右的PI膜，现在想看镀完PI膜厚的ITO是否有断裂现象。烦请各位帮忙解疑！感激不尽！

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SEM利用二次电子成像进行分析的。。一般扫描电子束产生二次电子的作用距离只有几nm到几十nm..所以是看不了底层图像的。。

17 0 2012-06-13 0条评论回复

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