纳米位移计共焦传感器的测量原理。

纳米位移计共焦传感器测量系统基于光谱共焦的原理，由光学头和控制器组成，之间通过一根光缆连接。共焦传感器进行了小型化的封装，便于集成到现有的系统中。应用于表面难以测量的物体（技术性及困难表面），是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下，共焦传感器适合于敏感的，软的或液体的表面。适用于微机械工程，电气工程，光学行业，塑料和造纸行业，半导体和PCB产业的检测，工具行业等。