lto靶材怎么腐蚀

要主要利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面， 靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好，但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。