1. 靶材的简单制备工艺？（我只知道是ZnO和Al为原料）？ 2. 目前国内的靶材生产相对于国外来讲，Z主要的缺陷在哪里？或者说，靶材制备当中Z困难的地方，导致国际生产商技术垄断的技术要点和难点是什么？ 3. 国内北京氧气厂和浙大是否还在生产？纯度是否能... 1. 靶材的简单制备工艺？（我只知道是ZnO和Al为原料）？
2. 目前国内的靶材生产相对于国外来讲，Z主要的缺陷在哪里？或者说，靶材制备当中Z困难的地方，导致国际生产商技术垄断的技术要点和难点是什么？
3. 国内北京氧气厂和浙大是否还在生产？纯度是否能达到6N?
1.现在又两种方法来生产靶材，一是喷涂法，二是烧结法
ZnO和Al为原料是制备太阳能电池前电极所需的TCO玻璃所用的靶材，常规掺铝量有1%，1.5% 和2%
2.现在国内的靶材，Z主要的缺陷大概就是绑定靶材的烧结质量问题，在进行高温溅射时会发生靶材的裂开，及外层靶材与靶管脱落。使得绑定材料氧化铟污染真空腔体。
3，这就不晓得了！
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