PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

1.靶材的纯度，可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验；
2.晶粒度：要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验；
3.密度：原则上，靶材的密度越高越好。密度越高，晶粒间隙越小，压制紧密，靶材质量越好。可以用称量法检验；
4.组织均匀性：对于两种成份以上的合成靶，特别是相互难融的成分，还可以做金相检验，看成分、组织是否均匀一致；
5.机械性能:有些靶材，如有色金属等可以要求一下。石墨靶，高级一点的，也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。
具体密度值，要查相应手册啦。一般供应商也会提供。