如果有可能的话,Z可能的是靶材利用率,磁控旋转靶材一般在两头的位置,磁场形成回路,磁场Z强,这样,磁控溅射聚集更多的自由电子,形成较强的自维持放电现象。相对应的,Z容易溅射,溅射速率增强,所以溅射速度较其他地方的溅射速率快,靶材消耗就快,Z后形成两端凹陷。
这样情况下,凹陷部分靶材Z先用完,其他地方的靶材还没有用完,所以便有了靶材利用率一说。普通的平面靶材的利用率一般是旋转靶材的1/2左右。旋转靶材的利用率一般在60%左右。如果能达到的靶材利用率的,除了改变磁场强度的手段,就是改变靶材的结构。
但是国内能达到的靶材利用率的好像没有,我老人家整的“狗骨头靶材”也只能说是接近。希望楼主能把图片放上来看一眼,或者联系下我。我的Q是:460的976的991。