电子探针能谱分析与能量色散型x射线荧光光谱分析有何异同

两者的Z终检测信号都是特征X荧光信号，检测器几乎一样，只是激发源不一样，电子探针采用电子束激发，和电镜类似，但是束流要大很多，X荧光激发源是X射线管产生的一次X射线。