测量工具主要包括原子力显微镜(AFM)、多模式扫描探针显微镜(SPM)、各种参数测试仪、高灵敏度纳伏/毫欧表、各类高精度分析仪和微阵列等等
纳米世界的观测
在纳米领域中,如何观测得到纳米级上材料的细微特征,是纳米测量的基础所在。无疑,扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)的出现成为了观测纳米世界的重要通道。1982年,国际商业机器公司苏黎世实验室开发出世界上diyi台STM,使人类能够直接观察到纳米世界。以STM/AFM为基础发展的显微镜,可统称为扫描探针显微镜(SPM)。SPM是研究纳米的重要工具,它利用探针和样品的互相作用,来探测到其表面形状,纳米尺度上的导电特性、静电力、表面电荷分布,以及物理、化学特性,以及不同环境下的特性。
目前安捷伦所提供的原子力显微镜可提供原子级分辨的检测手段,在提供高精度检测的同时,还在外围配备了静电屏蔽、防震等环境保护配件,包括环境舱,可进行温度和湿度控制,防震舱,可屏蔽干扰、震动和隔音。
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