复旦大学反应离子刻蚀中标公告

上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托，就复旦大学反应离子刻蚀项目(项目编号：1639-184211210008/1)组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

一、项目信息

项目编号：1639-184211210008/1

项目名称：复旦大学反应离子刻蚀

项目联系人：魏书真

联系方式：86-21- 65642437-108

二、采购单位信息

采购单位名称：复旦大学

采购单位地址：邯郸路220号

采购单位联系方式：魏书真 86-21- 65642437-108

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

该设备采用反应离子刻蚀(RIE)方式实现对SiO2、SiNx等介质材料和硅的干法刻蚀。反应离子刻蚀机主要由以下几部分组成：反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件等。

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称：上海市机械设备成套(集团)有限公司

采购代理机构地址：上海市长寿路285号恒达广场16楼

采购代理机构联系方式：张洁玮 陈永亮 86-21-32557719;86-21-32557775

五、中标信息

招标公告日期：2018年01月11日

中标日期：2018年02月11日

总中标金额：147.84884 万元(人民币)

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

评审专家名单：

丁臻敏、朱建钢、田 震、史泰冈、周 鹏

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

反应离子刻蚀;数量：1套;中标价：EUR188,000.00;质保期：12个月。

六、其它补充事宜