辉光放电质谱仪

辉光放电质谱仪GDMS是辉光放电质谱法的简称。是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的一种分析方法。GDMS在多个学科领域均获得重要应用。在材料科学领域，辉光放电质谱仪GDMS成为反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。辉光放电质谱仪GDMS已成为无机固体材料，尤其是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。