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磁控溅射镀膜机 NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统 那诺-马斯特

创新点

NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3500(A)带有14”立方形不锈钢腔体,3个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。


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NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统产品特点:

选配项:

应用:



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