S-4800高分辨冷场发射扫描电子显微镜
日立S4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。 特点： 1. 新型物镜采用ZG的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯
二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选：I型50mm x 50mm小样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统，包含多种自动功能，操作简易 性能指标：
| 二次电子分辨率 | 1.0nm (15kV)
2.0nm (1 kV)
1.4nm (1 kV，减速模式) | | 电子枪 | 冷场发射电子源 | | 加速电压 | 0.5~30kV(0.1KV/步，可变) | | 放大倍率 | x 20~ x 800,000 | | 物镜光阑 | 4孔，真空外选择和调校(内置加热器) | | 检测器 | 二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
EDX(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选) | | 样品台 | l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360° 驱动:手动(可选3轴/5轴马达驱动)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70°
R: 360°驱动: 5轴马达驱动 | | 操作/显示 | 操作系统： WindowsTM XP | | 图像储存 | 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 | 图像编辑
图像文件格式 | 内置图像处理软件和图像编辑软件
BMP, TIFF, JPEG | | 扫描速度 | TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录 | | 自动数据记录 | 胶卷号，加速电压，微米标尺，放大
倍率，日期，时间，工作距离 | | 电子图像移动 | ±12µm ( W.D. = 8 mm) | | 真空系统 | 自动调节
离子泵 3 台
涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
机械泵 1 台 |
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