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企业性质
入驻年限第10年
【简介】
驰奔仪器-E系列钨灯丝扫描电镜，采用统一的优良电子光学技术，台式电镜和立式电镜具有相同的分辨率性能和图像质量。电子枪均可升级为亮度提高10倍的更高级的电子枪，实现纳米尺度形貌快速表征。样品台均采用先进优中心结构，方便3D重构
Cube系列桌面台式扫描电镜，标准配置五轴优中心样品台，样品室可同时接配SE、BSE、EDS等探测器
Cube-110 采用背散射电子探测器，五轴全手动优中心样品台
【主要特点】：
●大型扫描电镜高分辨性能
●精密五轴手动样品台，成熟的GenesisZL的优中心结构、轻易实现3D重构。
●半导体Bse探测器，在观察样品形貌的同时，获得良好成分衬度。
●体积小巧，移动灵活
●超高性价比
七工位多样品托， X Y,配合R轴，批量测试样品，大幅度提高测试效率
成分反差和形貌反差
BseD 探测器信号通道及LV可实现非导电样品直接观察。
【适用范围】：
扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域，适用于科学研究，工业产品失效分析，产品可靠性控制。先进的电子光学性能，满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析，不但具有强大的图像处理分析功能，还能广泛连接各种标准或者非标准探测器，拓展成为可靠的分析型电镜，实现用户对材料的全方位微观分析。
Cube-110 适合批量样品分析测试微区形貌成分。
【安装示意】
【性能指标】
型号 | Cube-110 |
样品台 | 五轴优中心，全手动 -X: 40mm -Y:40mm -R: 360°无限 -Z: 5-20mm -T: ±20° |
电子枪 | 预对中钨灯丝，三极自动偏压 |
加速电压 | 200v-20KV （最大发射电流190μA @ 20KV/最大电子枪功率：3.8W) |
探测器 | 半导体固体BSE-DETECTOR |
物镜光阑 | 20μm 单光阑 |
分辨率 | 6nm @20KV (5nm@30kv) |
放大倍数 | 20-200,000 X |
样品室 | 内部尺寸120mm(W)x120mm(D)x120mm(H)，Se、Bse、EDS等探测器接口 |
最大样品尺寸 | Φ90mm x30mm（H） |
工作距离 | 0-20mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空系统 | 全自动真空系统，真空高压连锁安全保护 -涡轮分子泵 -旋片式机械真空泵 -电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等 -高真空优于9x10-3Pa （从大气到达高真空小于3分钟） -低真空模式 1-100Pa （选配） |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 象散、电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中 |
软件系统 | 基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 400(W）x500（D）x 580（H）mm /70kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
可选配置 | 30KV加速电压 | 四位可变物镜光阑 |样品室摄相机 | 低真空模式 | 升级LaB6/CeB6阴极 |3D重构成像软件 | 一体化能谱系统 CubeX | 升级双探测器Cube plus |
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