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企业性质
入驻年限第10年
【简介】
驰奔仪器-E系列钨灯丝扫描电镜，采用统一的优良电子光学技术，台式电镜和立式电镜具有相同的分辨率性能和图像质量。电子枪均可升级为亮度提高10倍的更高级的电子枪，实现纳米尺度形貌快速表征。样品台均采用先进优中心结构，方便3D重构
Genesis系列小型立式扫描电镜，标准配置五轴优中心样品台，样品室可同时接配二次电子（SE)、背散射电子（BSE）、X射线能谱（EDS）等探测器或附件，可拓展波谱仪（WDS）、电子背散射衍射（EBSD）、阴极荧光（CL）附件。是一款小巧、功能强大的电子显微分析平台。
Genesis-500Mplus 采用五轴优中心样品台，全手动，Se+Bse探测器，同时采集高分辨形貌和高分辨率成分信息，具有低真空配置，是一款经济型现代经典立式扫描电镜。
【主要特点】
●专门的经济型、拓展强大的小型立式扫描电镜
●高分辨成像能力，满足纳米尺度快速形貌表征
●精细形貌和成分衬度双探测器
●低真空等离子体消除荷电，非导电样品可免喷金、喷碳等。
●体型小巧，节约空间，可随时移动。
●可接配所有规格及高性能EDS，具有大型扫描电镜的分析效果
●优中心样品台、可轻易实现立体对图像采集，重构3D形貌像。
*精密五轴手动，精确校准Z轴及T轴
ZL的优中心样品台（多工位样品托）
简便的操作控制软件，全鼠标键盘操作，多种自动工具辅助获得**图像质量
一键成像
Genesis-小型立式扫描电镜在北京奥林匹克公园国家会议中心，公开展示体验。
随时可以移动
【适用范围】：
扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域，适用于科学研究，工业产品失效分析，产品可靠性控制。先进的电子光学性能，满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析，不但具有强大的图像处理分析功能，还能广泛连接各种标准或者非标准探测器，拓展成为可靠的分析型电镜，实现用户对材料的全方位微观分析。
Genesis-500Mplus 适合多种分析附件原位分析。
【安装示意】
【性能指标】
型号 | Genesis-500Mplus |
样品台 | 五轴优中心，全手动 X: 40mm Y: 40mm Z: 5-45mm R: 360°无限 T: -20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV （最大发射电流190μA @ 30KV/最大电子枪功率：5.7W) |
探测器 | ET-SED ，半导体固体Bse探测器 |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) 5nm@30KV (Bse Image) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | 内径φ150mm，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
最大样品尺寸 | Φ96mm X 50mm |
工作距离 | 0-45mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa 样品室低真空范围：10-100Pa |
真空系统 | 全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中 |
软件系统 | 基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 600(W）x623（D）x 1350（H）mm /120kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
可选配置 | 四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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