企业性质授权代理商
入驻年限第5年
仪器分类: | 接触式 |
规格
货号 CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500L4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8 CV-4500L8
测量
范围
X 轴 100mm 200mm
Z1 轴 ( 检出器 ) 60mm ( 水平位置 ±30mm )
Z2 轴 ( 立柱 ) 移动范围 300mm 500mm 700mm 300mm 500mm 700mm
Z1 轴
( 检出器 )
光栅尺类型 弧形
分辨力 0.02µm
测针上 / 下运作 弧形移动
测量方向 向前 / 向后
测针方向 垂直方向 ( 向上 / 向下单独测量 )
测力 10,20,30,40,50mN ( 根据软件转换 )
跟踪角度 向上 : 77º, 向下 : 83º ( 根据表面粗糙度,使用标准单切面测针 * 1 )
驱动部
长度基准
X 轴
激光全息光栅尺
Z2 轴 ( 立柱 ) ABS 光栅尺
分辨力
X 轴 0.05µm
Z2 轴 ( 立柱 ) 1µm
驱动速度
X 轴 0 ~ 80mm/s 外加手动
Z2 轴 ( 立柱 ) 0 ~ 30mm/s 外加手动
测量速度 X 轴 0.02 、 0.05 、 0.1 、 0.2 、 0.5 、 1.0 、 2.0 、 5.0 、 10 、 20mm/s
直线度 * 2 X 轴 0.8µm/100mm 2µm/200mm
倾角范围 X 轴
±45º
精度
( 20ºC )
X 轴
± ( 0.8+0.01L ) µm L= 驱动长度 ( mm )
宽范围: 1.8µm/100mm
窄范围: 1.05µm/25mm
± ( 0.8+0.02L ) µm L= 驱动长度 ( mm )
宽范围: 4.8µm/200mm
窄范围: 1.3µm/25mm
Z1 轴 ( 检出器 ) ± ( 0.8 + | 2H | /100 ) µm H = 水平位置上的测量高度 ( mm )
外形尺寸 ( W×D×H ) 主机 * 3
756×482
×966 mm
756×482
×1166 mm
1156×482
×1176 mm
1156×492
×1436mm
766×482
×966 mm
766×482
×1166 mm
1166×482
×1176 mm
1166×492
×1436mm
重量 主机 140kg 150kg 220kg 270kg 140kg 150kg 220kg 270kg