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日本Meiritz 大负载被动气浮桌腿型光学平台隔振器(AP series)

上海昊量光电设备有限公司

企业性质授权代理商

入驻年限第4年

营业执照已审核
同类产品精密定位平台/扫描台(19件)

产品简介

     我们的除振装置,除了具有的性能外,更重视产品的灵活性。当今有越来越多的精密仪器需要将最匹配的除振装置与精密仪器直接组装,能够满足这类客户需求的除振装置就是我们的AP 系列。该系列产品不仅拥有优越的除振性能,还具有强大的拓展性。我们的AP系列产品可以为您的精密仪器提供更为理想的除振环境。

技术先进・业绩显著的空气弹簧式除振系统

AP 系列产品是具有通用性的组合型装置

高灵敏水平传感器

总体高度统一为185mm(浮起时)

可负载重量范围广

能即时应对负载物的移动

也适用于无尘室中使用

选择机种以及组装装置设计的注意事项:

支撑负载台的空气弹簧之间的跨距越大越好。

在负载台上有移动负载物的情况下,zui好在考虑有偏载条件下选择AP 系列。如果负载台有摇晃的情况,在对稳定时间有要求的情况下,请联系我们。(如果方便告知移动物的重量、速度、加速度、行程等信息,我们会给您提供可行性建议)

负载台外围如果有附加物,需要确保10mm 以上的空隙。

在运输组装装置时,为了使负载台和架台不产生错位,需另用其他固定螺丝或者金属零件安装后再运输。

为了更好地发挥除振性能,负载台和架台zui好都选择高刚性的。

AP 系列中,4 个一套的空气弹簧是基本配套,如果需要变更数量的话,请与我们联系。

负载物(包括负载台)的zhong心位置,需要确保在如下图知识范围内:


应用领域

半导体制造-检查装置、液晶制造-检查装置、激光加工装置、电子显微镜、激光显微镜、精密加工、激光加工、坐标测定装置等


主要规格和参数表


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