URE-2000/35AL 型紫外单面光刻机

主要技术参数：

（1）曝光面积：150mm×150mm；

（2）照明不均匀性： ≤4%（ Ф 150mm 范围）；

（3）分辨力：1.0μm（365nm 波长）

（4）对准精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

（6）样片尺寸：直径 Ф 15mm-- Ф 150mm、厚度 0.1mm--6mm；

（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6°；

（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；

（10）曝光波长：365nm；

（11）曝光强度：≥15mW/cm2 ；

（12）曝光定时：倒 计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).

（13）调平接触压力通过传感器保证重复

（14）数字设定对准间隙和曝光间隙

（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口

技术构成与配置

设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。

（1）曝光头系统包括:

◆ 进口紫外 LED 光源模块；

◆ LED 光源整形模块；

◆ XYZ 光源位置调节台；

◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个透镜）、场镜组、反射镜组）；

◆ 冷却风扇。

（2）对准工件台系统包括：

◆ 掩模样片相对运动台（XY）；

◆ 转动台；

◆ 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；

◆ 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；

◆ 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个）；

◆ 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个）。

（3）CCD 对准显微镜系统包括：

◆ 对准光源 LED 灯；

◆ 双目双视场对准显微镜主体；

◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）；

◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）；

◆ CCD 部件；

◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。

（4）电控系统包括：

◆ 单片机控制系统；

◆ 紫外 LED 电源模块；

◆ 控制柜桌。

（5）气动系统包括：

◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。

(6)．辅助设备配置:

◆ 真空泵 1 台（干泵）；

◆ 静音空气压缩机 1 台；

◆ 配套接管 10m；

(7)．备品备件

◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）