URE-2000/35 型紫外单面光刻机

1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

2．技术参数

。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力：0.8μm

。对准精度：±0. 8μm

。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸：直径 ±10mm-- ±100mm(各种不规则片) 厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式：定时和定剂量18

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

。照明不均匀性： 3%（±100mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

     物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

      目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

掩模相对于样片运动行程：

   X:  ± 5mm; Y:  ± 5mm; Thelta:  ± 6º

 。焦厚：400μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5 º

。曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

。单层曝光一键完成

。采用球气浮自动找平

。汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）

3．外形尺寸：1200mm（长)x900mm(宽) x1750mm（高）

4．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。350W 进口直流高压汞灯(进口)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台19

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。基片抽拉式上下机构

。样片调焦机构，电机自动调

。承片台 4 个：15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用户要求增减）

。掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

。光源（配备品 2 只）、 电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 对准系统，21 寸液晶显示器

（4）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

（5）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（6）其他附件

。真空泵一台

。空压机一台

。管道