中科院DS-2000/14G 型无掩模单面光刻机

1．技术特征

.采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三种选配

.采用缩小投影光刻物镜成像，分辨力 1um。

.采用ZG技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。

.采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm100mm 基片。

.采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。

.具备对准功能

2．技术参数

.光源：350W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫外 LED；

.照明不均匀性：2%；

.物镜倍率：7.6 倍（或 14 倍与选择的 DMD 像素尺寸有关）

.曝光场面积：1mm×0.7mm （或 1.9mm×1.8mm ，或 2.5mm×1.6mm，与选择的 DMD 像素数有关）

.光刻分辨力：1 μm

.工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm；

.工件台运动定位精度：± 0. 5μm；

.调焦台运动灵敏度：1μm；

.对准精度：± 2μm；

.调焦台运动行程：6mm

.检焦：CCD 检测，检测精度 2 微米

.转动台行程：±6°以上

.直写速度：40mm2 /min

基片尺寸

.外径: Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（长）x450mm(宽) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系统

.350W 直流汞灯（或紫外 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD（美

国德州仪器）、冷却风扇。

.投影物镜 7.6 倍，可根据用户要求另增加一种.

.分辨力 1m（缩小倍率 7.6 倍）

（2）工件台系统

.X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅（美国）

.Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅 2（美国）

.转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系

.Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构

.承片台：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）检焦系统

.焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件

（4）对准系统

.对准光学检测系统、CCD、对准软件

（5）电控系统

.汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器（19 英寸液晶）、接口（6）气动系统

.电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

（7）其他附件

.真空泵一台(无油泵)

.空压机一台（静音泵）

.管道