中科院DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机

DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机
 

1．技术特征
。采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024×768
。采用 14 倍缩小投影光刻物镜成像。
。采用ZG技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。
。具备对准功能
。采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm100mm 基片。
。采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。
 

2．技术参数
。光源：350W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫外LED；
。照明不均匀性：2%；
。物镜倍率：14 倍
。曝光场面积：1mm×0.75mm
。光刻分辨力：1 μm
。工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm；
。工件台运动定位精度：±0.65μm；
。调焦台运动灵敏度：1μm；
。对准精度：±2μm；
。调焦台运动行程：6mm
。检焦：CCD 检测，检测精度 2 微米
。转动台行程：±6°以上
。基片尺寸
。外径: 。1mm—100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（长）x450mm(宽) x830mm（高）
 

4．配置
（1）照明系统
。350W 直流汞灯（或 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD（美国德州仪器）、冷却风扇。
。投影物镜：缩小倍率 14 倍
。分辨力 1μm 

（2）工件台系统
。X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅（美国）
。Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅 2（美国）
。转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系
。Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构
。承片台：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）
 

（3）检焦系统
。焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
 

（4）对准系统
。对准光学检测系统、CCD、对准软件
 

（5）电控系统
。汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器（19 英寸液晶）、接口
 

（6）气动系统
。电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
 

（7）其他附件
。真空泵一台(无油泵)
。空压机一台（静音泵）
。管道